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產(chǎn)品中心

小型等離子清洗機(jī) 中大型等離子清洗機(jī) 等離子刻蝕機(jī) 等離子沉積鍍膜大氣等離子清洗機(jī) 電暈機(jī)

合作案例

清華大學(xué)采購(gòu)PLUTO-T等離子清洗機(jī) 清華大學(xué)調(diào)研了眾多等離子表面處理設(shè)備，最終選擇了上海沛沅生產(chǎn)的Pluto-T等離子清洗機(jī)/表面處理機(jī)。根據(jù)客戶(hù)的技術(shù)要求，提供了可以滿(mǎn)足老師所有技術(shù)參數(shù)要求的Pluto-T等離子清洗機(jī)/表面處理機(jī)，以下為該設(shè)備的安裝調(diào)試圖。
上海交大采購(gòu)PLUTO-MC沉積鍍膜設(shè)備 2020年12月，上海交通大學(xué)采購(gòu)我司PLUTO-MC沉積鍍膜設(shè)備。該設(shè)備采用13.56MHz射頻，涂覆面積為150*150mm，具備良好的穩(wěn)定性與可重復(fù)性。
電子科技大學(xué)采用Pluto-MD等離子去膠機(jī)進(jìn)行晶圓去膠電子科技大學(xué)已采購(gòu)多臺(tái)等離子設(shè)備，包括PLUTO-T等離子清洗機(jī)，PLUTO-MD等離子去膠機(jī)等，用戶(hù)反饋良好。主要涉及的應(yīng)用有：晶圓光刻膠的去除、電子半導(dǎo)體樣品表面有機(jī)物的去除、多功能微納結(jié)構(gòu)寬帶吸收器的表面處理等等。

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企業(yè)新聞| CORPORATE NEWS

: 認(rèn)識(shí)實(shí)驗(yàn)室里的“超級(jí)清潔工”——實(shí)驗(yàn)室等離子清洗機(jī)

在現(xiàn)代科研和精密制造領(lǐng)域，我們常常需要對(duì)材料表面進(jìn)行其的清潔。普通的水洗、酒精擦洗甚至超聲波清洗，有時(shí)都無(wú)法滿(mǎn)足要求，特別是當(dāng)處理的對(duì)象是微小的芯片、精密的醫(yī)療...
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技術(shù)文章| Technical articles

: 您真的了解等離子處理機(jī)嗎？

等離子處理機(jī)是一種利用等離子體(電離氣體)對(duì)材料表面進(jìn)行物理化學(xué)改性的技術(shù)設(shè)備，其核心原理是通過(guò)高頻電場(chǎng)或微波激發(fā)氣體形成等離子體，利用其中的高能粒子(如電子、離子、自由基)與材料表面發(fā)生反應(yīng)，實(shí)現(xiàn)清潔、活化、改性或涂層沉積等功能。等離子體生成：通過(guò)高頻交流電場(chǎng)或微波激發(fā)氣體(如氬氣、氮?dú)狻⒀鯕狻嚎s空氣)，使其電離形成由帶電粒子(電子、離子)和中性粒子(原子、分子、自由基)組成的等離子體。低溫等離子體(常壓或真空環(huán)境)是表面處理的主流，避免高溫?fù)p傷材料主體。物理濺射：高能粒...
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應(yīng)用案例

01 等離子清洗
等離子清洗特點(diǎn)是不分處理對(duì)象的基材類(lèi)型，均可進(jìn)行處理，對(duì)金屬、半導(dǎo)體、氧化物和大多數(shù)高分子材料等都能很好地進(jìn)行超清洗。

圖為PLUTO-T等離子清洗機(jī)對(duì)陶瓷基板上銀氧化層的清洗實(shí)例。
02 等離子去膠
等離子清洗機(jī)可用于晶圓或者電路板表面的光刻膠去除，以及去除光學(xué)元件、半導(dǎo)體元件表面的光阻材料等。

圖為PLUTO-MD等離子去膠機(jī)對(duì)PCB板和硅片的去膠實(shí)例。
03 等離子活化改性
改善粘合力-用于光學(xué)元件、生物醫(yī)學(xué)、封裝領(lǐng)域等；
表面改性-用于高分子材料表面修飾、PDMS微流控芯片鍵合、玻璃等，增強(qiáng)表面粘附性、浸潤(rùn)性、相容性；

圖為PLUTO-M對(duì)線(xiàn)路板、橡膠管和手機(jī)膜的表面改性實(shí)例。
04 等離子刻蝕
等離子刻蝕是干法刻蝕中常見(jiàn)的一種形式，其原理是暴露在電子區(qū)域的氣體形成等離子體，電離氣體原子通過(guò)電場(chǎng)加速時(shí)，會(huì)釋放足夠的力量與表面驅(qū)逐力緊緊粘合材料或蝕刻表面。

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